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信息索引號(hào) | 014006438/2024-05144 | 生成日期 | 2024-09-11 | 公開日期 | 2024-09-11 |
文件編號(hào) | — — | 發(fā)布機(jī)構(gòu) | 無錫市發(fā)展和改革委員會(huì) | ||
效力狀況 | 有效 | 附件下載 | — — | ||
內(nèi)容概述 | 項(xiàng)目名稱:無錫邑文電子上市總部基地項(xiàng)目單位:無錫邑文微電子科技股份有限公司建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模:占地約59畝,購置氦氣檢漏儀、PUMP、ICP刻蝕機(jī)-金屬刻蝕、多腔ALD、PVD設(shè)備等各類設(shè)備 |
項(xiàng)目名稱:無錫邑文電子上市總部基地
項(xiàng)目單位:無錫邑文微電子科技股份有限公司
建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模:占地約59畝,購置氦氣檢漏儀、PUMP、ICP刻蝕機(jī)-金屬刻蝕、多腔ALD、PVD設(shè)備等各類設(shè)備,年產(chǎn)去膠機(jī)、ICP刻蝕機(jī)、UV固膠機(jī)、化學(xué)氣象沉積等各種半導(dǎo)體設(shè)備460臺(tái)套
建設(shè)起止年限:2024-2026年
計(jì)劃總投資:55153萬元
2024年計(jì)劃投資:10000萬元
來源:無錫市發(fā)展和改革委員會(huì)